Nach fast zwei Jahren Pause findet in Freiburg vom 18. bis 19. Mai 2022 das Netzwerktreffen der Mikrosystemtechnik statt. Der Fokus liegt in diesem Jahr auf Vernetzung und Austausch zu wichtigen Zukunftstrends und neuen Anwendungsfeldern mit Mikrosystemtechnik.
In der Session 1 „Sensorik für die Praxis“ am 18.05.2022 präsentiert Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMs am CiS Forschungsinstitut, das Thema: „Spektralselektive optische Eigenschaften von infraroten Sensorelementen“. Mittelpunkt seines Vortrages bilden photonische Kristalle als optische Filter für Infrarot-Emitter.
Am 19.05.2022 wird Dr. Ingo Tobehn-Steinhäuser über „Hochgenaue Temperaturdioden für den Anwendungsbereich von 4 K bis 500 K“ in der Session 12 „Kalibrierung & Prüfverfahren“ berichten. In seinem Vortrag stellt er die Entwicklung siliziumbasierter Temperaturdioden vor, die im Hochtemperaturbereich bis maximal 300°C mit einer Einpunktkalibrierung verwendbar sind.
Flankiert wird die Clusterkonferenz durch eine Fachausstellung. Der Wachstumskern High-Performance-Sensorsysteme (HIPS), vertreten durch Dr. Olaf Brodersen, Senior-Geschäftsfeldleiter MOEMs, wird hier aktuelle Forschungsergebnisse vorstellen. Das Thüringer Bündnis aus Forschungseinrichtungen und Unternehmen zielt auf die Entwicklung und gemeinsame Vermarktung neuartiger, robuster, hochintegrierter Sensoren auf Basis einer einzigartigen Verbindung von Siliziumtechnologie (Si) und keramischer Mehrlagentechnik (Cer). Das CiS Forschungsinstitut legt hier den Schwerpunkt auf die zuverlässige Kontaktierung und Fügung von SiCer-Substraten.
