Ultrakleine Drucksensoren auf der Basis von MSTS-Membranen
| Akronym: | UDM | |
| Projektlaufzeit: | 01.07.2024 - 31.12.2026 | |
| Beschreibung: | Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung und Prototypen-Fertigung von piezoresistiven Absolut-Drucksensoren mit ultrakleinen Abmessungen, aber dennoch sehr hohen Empfindlichkeiten auf der Basis von einkristallinen MSTS-Membranen. Die MSTS-Membran-Technologie wurde in einem Vorprojekt entwickelt, wird nun optimiert und zu kundenspezifischen Sensorapplikationen ausgebaut. So kann ein 1 bar-Chip mit Kantenlängen von 500 µm etwa 1 Pa auflösen, was einer Höhendifferenz von ca. 10 cm entspricht. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF230075 | |
News-Artikel zum Projekt UDM: | ||
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Ultrakleine Drucksensoren auf der Basis von MSTS-Membranen 15. August 2024 |
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