Sensor zur Bestimmung der Schichtspannung
| Akronym: | Nanolever | |
| Projektlaufzeit: | 01.02.2023 - 31.07.2025 | |
| Beschreibung: | Eine Reihe von Messverfahren verwendet die Schichtspannung als physikalisches Prinzip. Es existieren eine Reihe von innovativen Anwendungen zur Konzentrationsmessung, wie z.B. mit immobilisierten Antikörpern oder sensitiven Schichten zur Wasserstoffdetektion. Ein Sensor zur Bestimmung der Filmkraft wird entwickelt. Die Auswertung ist piezoresistiv. Das Basislayout ist eine mechanische Brücke. Dabei wird eine hohe Empfindlichkeit auf die Messgröße bei hoher Robustheit auf die Störgrößen erreicht. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49VF220011 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt Nanolever: | ||
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Hochempfindlicher Sensor für Messung von Schichtspannung in biologischen Schichten und sensitiven Schichten zur Wasserstoffdetektion 17. Mai 2023 |
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