Piezoresistive Technologie-Plattform mit minimalem Null-Offset Im Antrag: Technologie-Plattform minimalem Null-Offset
| Akronym: | miniOffset | |
| Projektlaufzeit: | 01.10.2022 - 31.03.2025 | |
| Beschreibung: | Ziel des Projektes ist die Entwicklung einer Technologieplattform für hochpräzise Sensoren auf der Basis piezoresistiver Transduktion. Als Grundlage dient ein robustes Layout gegenüber technologischen Schwankungen (Dotierparameter, Schichtspannungen, Chipgröße, Membrangeometrie, Widerstandsbrückenkonfiguration). Die Plattform, bestehend aus einer piezoresistiven Messbrücke mit integrierten Mikrostrukturen, verwendet kostengünstige CMOS/MEMS-kompatible Materialien und zielt auf die On-Chip-Minimierung von Querempfindlichkeiten, sodass aufwändige Kompensationen nach der Sensormontage entfallen. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF220087 | |
News-Artikel zum Projekt miniOffset: | ||
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Silizium basierte piezoresistive Sensoren mit einer minimalen Brückengrundverstimmung 19. Oktober 2022 |
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