Resonante Silizium-Differenzdrucksensoren
| Akronym: | ReSi-DDS | |
| Projektlaufzeit: | 01.11.2021 - 30.04.2024 | |
| Beschreibung: | Ziel des beantragten Vorhabens ist die Entwicklung von Stapeltechnologien zur Herstellung von Resonatorstrukturen für resonante Silizium-Drucksensoren. Eine Hauptanforderung an die zu entwickelnden Resonatorstrukturen und deren Einbettung ist, eine beidseitige mechanische Druckbelastung zu gewährleisten und damit die Herstellung eines Differenzdrucksensors zu ermöglichen. Als Demonstrator soll ein funktionsfähiger resonanter Differenzdrucksensor mit hoher Kurz- und Langzeitstabilität gefertigt werden. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF210095 | |
News-Artikel zum Projekt ReSi-DDS: | ||
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Entwicklung von Stapeltechnologien für Resonante Silizium-Differenzdrucksensoren (ReSi-DDS) 17. November 2021 |
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