Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors mit einer Auflösung von 100pm zur Ermittlung der Härte von Oberflächen im Nanometerbereich
Akronym: | NanoSense | |
Projektlaufzeit: | 01.02.2021 - 31.07.2023 | |
Beschreibung: | Aktuelle Geräte zur Vermessung der Oberflächenhärte weisen zur Ermittlung des zurückgelegten Wegs beim Eindringen in den zu prüfenden Körper einen separat in die Maschine integrierten Wegsensor auf. Dadurch sind die Härteprüfmaschinen sehr steif ausgelegt, extrem teuer und können nur kleine Bauteile vermessen. Im Rahmen des Projektes soll daher ein neuer Messkopf zur flexiblen Integration in Universalprüfmaschinen und xy-Manipulatoren entwickelt werden. Dabei sind erstmals Kraft- und Wegmessung als neuartige, kombinierte Elemente in die Prüfmaschine integriert, wodurch kein steifer Maschinenrahmen mehr erforderlich wird. Die neue Sensoreinheit ermöglicht dabei erstmals die Auflösung der Kraft auf eine Genauigkeit von 100pm, sowie dadurch die präzise, quasi zerstörungsfreie Prüfung jeglicher Werkstoffe ( auch extrem dünne Schichten). Dabei wird es erstmals möglich, großflächige Bauteile zu vermessen. Im Projekt soll auch ein zweistufiges Antriebskonzept mit Piezostapelaktoren sowie die Elektronik zum Auswerten und Verarbeiten der Sensorsignale entwickelt werden. Die Kalibrierung wird über ein innovatives Autokalibrierverfahren auf Basis von Siliziumblattfedern ergänzt. | |
Gefördert durch: | BMWI | |
Projektträger: | AIF | |
Förderkennzeichen: | KK5085702SN0 | |
News-Artikel zum Projekt NanoSense: | ||
NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors 10. Januar 2024 |
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NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors 24. Februar 2021 |
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