Photoakustischer Gassensor mit Referenzgassensor
| Akronym: | PAS | |
| Projektlaufzeit: | 01.02.2021 - 31.07.2023 | |
| Beschreibung: | Ziel ist die Entwicklung eines integriert herstellbaren photoakustischen Gassensors, als offenes oder geschlossenes System. Im Vordergrund steht die Entwicklung der Mikrofonkomponente für einen photoakustischen Gassensor mit folgenden Randbedingungen: Hohe Empfindlichkeit, geeignet zum Wafer-Level-Packaging, Fähigkeit zum Silizium-Direkt-Bonden, piezoresistives Wirkprinzip, Einsatzbereich -40°C bis 140°C. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | MF200114 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt PAS: | ||
 |
Photoakustischer Gassensoren mit Referenzgassensor 13. März 2024 |
|
 |
Photoakustische Gassensoren auf Basis von Wafer-Level-Packaging 22. April 2021 |
|
« zurück zur Projektübersicht
