Verbesserung der Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren
| Akronym: | SiDMESES | |
| Projektlaufzeit: | 01.10.2020 - 28.02.2023 | |
| Beschreibung: | Ziel ist die signifikante Verbesserung der Langzeitstabilität hybrid aufgebauter Sensoren mit Si-DMS durch verschiedene Maßnahmen: gezielter und beschleunigter Abbau mechanischer Montagespannungen, präziser extrem paralleler und symmetrischer Aufbau, Verminderung der Duktilität der Fügewerkstoffe und Variation der Position des Si-DMS mit dem Ziel hohe Empfindlichkeit auf die Messgröße Druck und Unempfindlichkeit auf Änderung durch die Montagespannung. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF200061 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt SiDMESES: | ||
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CiS Forschungsinstitut erstmals auf der SEMICON in München 5. November 2024 |
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Resiliente Sensoren auf dem Innovationstag Mittelstand 5. Juni 2024 |
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Highlight des CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2024: Galvanisch getrennter Inkrementalsensor 18. April 2024 |
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Verbesserung der Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren (SiDMeses) 31. August 2023 |
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