Sensorentwicklung für Unterdruck, erhöhte Temperaturen und Medienkontakt
| Akronym: | Pedro | |
| Projektlaufzeit: | 01.12.2019 - 30.11.2021 | |
| Beschreibung: | Ziel des Kooperationsprojekts ist die Entwicklung eines modular aufgebauten Sensormesssystems zur Überwachung des Drucks bei vakuumführenden Prozessen (z.B. PVD, CVD): Während eines medienführenden Vakuumprozesses ist das Druckmesssystem dann besonderen Anforderungen ausgesetzt, wenn der Parameter Druck als Stellgröße in der Vakuumprozesskammer nah am eigentlichen Prozess gemessen werden soll. Im Projekt wird deshalb darauf abgezielt, die Komponenten des Druckmesssystems so auszulegen und aufeinander abzustimmen, dass Medienkontakt weitestgehend reduziert wird, Temperaturen bis 300°C unschädlich für die Komponenten sind und der Sensor kleinflächig und beheizt ist. Dabei soll das Druckmesssystem einen weiten Druckmessbereich von 0,1 bis 1013 mBar, eine hohe Genauigkeit von 1 %FS sowie eine geringe Temperaturanfälligkeit TKR = 0,05 %/K @ 1 bar bei gleichzeitig hohem Berstdruck von >20 bar haben. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | AIF | |
| Förderkennzeichen: | ZF4001705WM9 | |
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