Drucksensor aus <110> Silizium erhöhter Linearität
| Akronym: | DS<110> | |
| Projektlaufzeit: | 01.07.2019 - 31.12.2021 | |
| Beschreibung: | Der Aufwand für die Kalibrierung einer Druckmesszelle vermindert sich stark durch lineare Zusammenhänge der abhängigen Größen. Die Linearität kann erhöht werden, wenn die Messbrücke aus identisch wirkenden piezoresistiven Messwiderständen aufgebaut wird. Messwiderstände aus <110> p-Silizium weisen einen sehr geringen Quereffekt auf und sind für diese Maßnahme hervorragend geeignet. Aus diesem Material wird daher ein Drucksensor aufgebaut. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | 49MF190023 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt DS<110>: | ||
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Senkung des Kalibieraufwandes bei hochgenauen Drucksensoren 21. Juli 2022 |
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Fachmesse Sensor+Test und Kongress SMSI 30. April 2021 |
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Neues Forschungsprojekt gestartet: Drucksensor aus Silizium mit erhöhter Linearität (DS) 1. August 2019 |
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