Langzeitstabile Mikro-Makro-Kopplung zum Aufbau ultraflacher Siliziumdehnungssensoren für makroskopische Prüfkörper
| Akronym: | Mikado | |
| Projektlaufzeit: | 01.04.2019 - 30.09.2021 | |
| Beschreibung: | Gefordert wird eine Methode zum Aufbau von neuartigen Kraftsensoren mit integrierten Silizium-DMS die folgenden Anforderungen genügt: Drahtbonden der Si-DMS bevor diese auf den Prüfkörper montiert werden Kein Drahtbonden am Prüfkörper Langzeitstabiles Fügen des Si-DMS, vorzugsweise Glasfritte Geringe Temperaturbelastung des Prüfkörpers, partielle Erwärmung ist tolerierbar Universell einsetzbar an Prüfkörpern unterschiedlicher Geometrie Vorzugsweise soll ein vorgefertigtes Sensorelement, mit Si-DMS, Leiterplatte, Signalverarbeitung auf den Prüfkörper gefügt werden. Als typischer Wert soll angestrebt werden: Langzeitstabilität im Nenntemperaurbereich (-40°C bis +80°C, max. 80%rF): 1 %Messspanne/a Durch die Verwendung der Si-DMS für Kraftsensoren und verschiedene Prüfkörper unter den oben gesetzten Randbedingungen sind Vorteile und sind Verbesserungen zu erwarten: Kleinere und steifere Federkörper zum Aufbau als Kraftsensor Höhere Messspanne Einfachere Realisierung Mehrkomponentenkraftsensoren durch die integrierte Vollbrücke. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | 49MF180163 | |
News-Artikel zum Projekt Mikado: | ||
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Mikado – Langzeitstabile Mikro-Makro-Kopplung zum Aufbau ultraflacher Siliziumdehnungssensoren für makroskopische Prüfkörper 9. Juli 2021 |
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Vortrag auf der ACHEMA Pulse am 15.06.2021 9. Juni 2021 |
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Sicher ist sicher – Flanschdichtungsmonitoring 22. Juni 2020 |
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Mikrosensoren zur Messung der Vorspannkraft 21. Oktober 2019 |
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Mikrodehnungssensoren zum Monitoring der mechanischen Belastung von Maschinen und Maschinenelementen 28. März 2019 |
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