Integrierte Reflektoren für MEMS IR-Strahler
Akronym: | IReMIS | |
Projektlaufzeit: | 01.01.2019 - 30.06.2021 | |
Beschreibung: | Durch eine neuartige Wafermontagelösung wurden MEMS-IR-Strahler entwickelt, in deren miniaturisiertes Chip-Gehäuse ein Reflektor und eine Abdeckkappe integriert wurden. Dadurch sind die Chips hermetisch dicht und weisen eine verbesserte Strahldichte im Spektralbereich über 7 µm auf. Erste beschleunigte Lebensdauertests bei der derzeitig festgelegten Nennleistung weisen auf eine Betriebslebensdauer von mehr als 1 Million Stunden hin. |
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Gefördert durch: | BMWI | |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | 49MF180117 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MOEMS | |
News-Artikel zum Projekt IReMIS: | ||
Mid-Week Coffee Break – Ein virtuelles Technologiegespräch 12. Mai 2021 |
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