Entwicklung einer Kopplung von optischer und halbleiterphysikalischer Simulationsumgebung am Beispiel eines Sensornetzwerkes für die Strahllageerfassung in Lasermaterialbearbeitungsanlagen
| Akronym: | KOptHL | |
| Projektlaufzeit: | 01.03.2019 - 28.02.2022 | |
| Beschreibung: | Der Schwerpunkt des CiS Forschungsinstituts im Verbundprojekt liegt einerseits in der Erforschung der Kopplung optischer Simulationswerkzeuge für Beugungs- und Streulichteffekte mit halbleiterphysikalischen Simulationswerkzeugen für Silizium- Mikrosensoren. Forschungsgegenstand ist eine Methodik zur Übertragung der FE-Ergebnisse zwischen optischem und halbleiter-physikalischem Simulator in beliebige Richtung, die auch um die mechanische Domäne erweiterbar ist. | |
| Gefördert durch: | BMBF |  |
| Projektträger: | Projektträger Jülich | |
| Förderkennzeichen: | 03WKDE01C | |
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