Sensor for Heat Radiation
| Akronym: | SHeRa | |
| Projektlaufzeit: | 01.03.2017 - 31.08.2019 | |
| Beschreibung: | Ziel des Projektes war die Entwicklung eines Bolometers auf Siliziumbasis. Aufbauend auf die technologischen Erfahrungen im Bereich der MEMS-Drucksensorik, wurden Silizium-Thermistoren und Temperaturdioden als detektierende Elemente eingesetzt. Die Elemente wurden in eine frei stehende Membran integriert und zu einer hochempfindlichen Messbrücke verschaltet. Alle verwendeten Technologien einschließlich der Umhausung finden auf Waferebene statt. Der Betriebstemperatur-Bereich wurde gegenüber dem Stand der Technik auf 125 °C erhöht. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF160136 | |
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