Glowing Body Silicon Emitter
| Akronym: | GloBSiE | |
| Projektlaufzeit: | 01.06.2016 - 30.11.2018 | |
| Beschreibung: | Ziel war die Entwicklung eines miniaturisierten Infrarotemitters, auf Basis einer mikrostrukturierten Siliziummembran ohne metallische Leitbahnstruktur auf der emittierenden Funktionsschicht. Mittels multiphysikalischer Simulationen der Emitterschicht wurde eine geeignete Designvariante mit entsprechendem Schichtsystem verifiziert und ein Herstellungsprozess entwickelt, der umfänglich CMOS-kompatibel auf Waferlevel durchführbar ist. Anhand von Teststrukturen wurde die Funktionsfähigkeit der Emitter nachgewiesen. Diese können weiter optimiert werden. Solche Emitter werden beispielsweise in nichtdispersiven Sensoren zur Detektion und Konzentrationsbestimmung von Gasen verwendet. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF150183 | |
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