FEM4MEMS - multi-physics Finite Elemente Simulator für MEMS-Design
| Akronym: | FEM4MEMS | |
| Projektlaufzeit: | 01.06.2015 - 30.09.2017 | |
| Beschreibung: | Im CiS werden extensiv Finite Elemente Simulatoren für das Sensoren-Design genutzt. Bei der Simulation piezoresistiver Drucksensoren kommt es wiederholt zu Differenzen zu an realisierten Sensoren gemessenen Kennlinien. Eine mögliche Ursache hierfür ist die unzureichende Kopplung zwischen mechanisch/thermischer und elektronischer Berechnung der piezoresistiven Widerstandsänderung. Ein an der TU Hamburg-Haarburg entwickelter hochstabiler FEM-Simulator wurde erstmals auf das vollständig gekoppelte Problem angewandt und die bestehenden Mängel beseitigt. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | VF140049 | |
News-Artikel zum Projekt FEM4MEMS: | ||
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MEMS-Design für hochstabile und hochgenaue Drucksensoren CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik kooperiert mit der TU Hamburg-Harburg 17. Juni 2016 |
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