Produktionsgerechte Einführung eines Bondverfahrens mittels integrierter reaktiver Metallschichten
| Akronym: | iRMS | |
| Projektlaufzeit: | 01.03.2015 - 31.07.2017 | |
| Beschreibung: | Ziel des Projekts war die produktionsgerechte Technologieentwicklung eines Bondverfahrens mittels integrierter reaktiver Metallschichtlagen (RMS) für hochpräzise und wärmesensible Fügeverfahren in der Mikrosystemtechnik. Ein RMS unterstütztes Bondverfahren wurde an zwei konkreten Anwendungen aus dem MOEMS- und MEMS-Bereich im Hinblick ihrer technologischen und wirtschaftsökonomischen Aspekten untersucht und letztlich in einer Fertigungskette integriert. | |
| Märkte: | Querschnitttechnologie für alle Branchen, Biotechnologie, Medizintechnik, Elektronik, Optik, Maschinenbau, Messtechnik, Automation | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF140148 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
| Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MOEMS | ||
« zurück zur Projektübersicht
