Dünne Silizium Membrane für hochstabile und hochgenaue Silizium-Drucksensoren
| Akronym: | dSiM | |
| Projektlaufzeit: | 01.02.2015 - 31.05.2017 | |
| Beschreibung: | Das CiS Forschungsinstitut hat sich zu einem bedeutenden Entwickler und Zulieferer von hochstabilen und hochgenauen Silizium-Drucksensoren für weltweit agierende deutsche Firmen der Druckmesstechnik entwickelt. Anwender fordern zunehmend immer kleinere, präzisere und stabilere Sensoren. Damit verbunden ist auch eine Reduktion der lateralen Membranabmessungen sowie zwangsläufig eine Reduktion der Membrandicke, um die Drucksensoreigenschaften, insbesondere des Druckbereiches und der Empfindlichkeit aufrecht zu erhalten. Andere Kennlinien- und Sensoreigenschaften wie Linearität, Berstdruck und Langzeitstabilität sind ebenfalls mit der Reduktion der lateralen Membranabmessungen und der Membrandicke zu sichern. Dazu wurden 3 technologische Ansätze für die Herstellung dünnerer Membranen mit 7, 11 und 15µm Dicke für piezoresistive Drucksensoren erfolgreich getestet. Im Ergebnis der Auswertung dieser Präparationen kann festgestellt werden, dass diese Dicken mit vertretbarem technologischem Auswand und hinreichender Homogenität hergestellt werden können. Dabei wurde auch erkannt. dass mit geringer werdender Membrandicke die Linearität der Kennlinie immer problematisch wird und weiterer Untersuchungen bedürfen. |
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| Märkte: | Messtechnik, Automation | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF140125 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
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