Unser zweites Online-Webinar zum Thema „Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren“ am 20.04.2021 war ein voller Erfolg. Die Referenten Dr. Klaus Ettrich, Geschäftsfeldleiter MEMS, Dr. Thomas Frank, Fachbereichsleiter MEMS, sowie André Grün, Entwicklungsingenieur Aufbau- und Verbindungstechnik, präsentierten MEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften
MEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren können zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften eingesetzt werden. Unser Webinar geht auf die technischen Grundlagen solcher Sensoren ein und wir zeigen Ihnen einige Demonstratoren von uns entwickelter Silizium-Dehnmessstreifen (Si-DMS)
Das CiS Forschungsinstitut entwickelt verschiedene miniaturisierte Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke für die schnelle Inline-Qualitätskontrolle von Bauelementen unterschiedlichster Materialien. Hohe Abtastraten werden dabei durch eine sehr geringe Antastkraft, eine hohe Eigenfrequenz (3…5 kHz), sowie eine sehr kleine Masse (≈0,1 mg) ermöglicht
Hohe Abtastraten und geringe Antastkraft verbindet ein neuer miniaturisierter Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke. Die kraftabhängige Auslenkung bewirkt eine Änderung der mechanischen Spannung, welche piezoresistiv ausgewertet wird
Hohe Abtastraten und geringe Antastkraft verbindet ein neuer miniaturisierter Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke. Robust gegenüber unterschiedlichen Umgebungseinflüssen schließt der Sensor eine Lücke zwischen AFM und einem klassischen Tastschnittgerät
Der Mikrotaster aus Silizium, hergestellt im CiS Forschungsinstitut, mit einer Masse von nur wenigen Mikrogramm, verfügt über einen hohen Dynamikbereich. Ausgestattet mit einer schnellen Digitalschnittstelle erfasst der taktile Taster problemlos die Messwerte in wenigen Minuten.
Auf dem IVAM-Produktmarkt „High-tech for Medical Devices“ zeigt das CiS Forschungsinstitut neue Ergebnisse aus Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der medizinischen Mikrosystemtechnik
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Deutschland
Tel.: +49 361 663 1410
E-Mail: info@cismst.de
