MEMS-Infrarotemitter ermöglichen eine hohe Miniaturisierbarkeit, hohe Dynamik und sind zudem kostengünstig. Kommerziell verfügbare Infrarotemitter bestehen zumeist aus Metallschichten (überwiegend Platin), die in ein dielektrisches Membransystem von wenigen nm bis µm Membrandicke eingebettet sind und als Widerstandsheizerschicht Temperaturen von bis zu 900°C in der Membranmitte ermöglichen.
Das Schichtsystem ist bei den einfachen Strahlertypen meist nicht optisch dicht, sodass Interferenzeffekte innerhalb des Schichtsystems auftreten können und der Oberflächenemissionsgrad im mittleren IR-Spektralbereich klein ist. Eine Erhöhung der optischen Ausgangsleistung kann durch eine zusätzliche Schicht erreicht werden, die zugleich vielen Temperaturzyklen von Raumtemperatur bis 900°C standhalten muss.
Im neu gestarteten Projekt CNT-IR sollen Kohlenstoffnanoröhren zur Erhöhung der Emission des IR-Emitters bei gleichbleibender elektrischer Leistung eingesetzt werden.
Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten werden im Forschungsprojekt „Infrarotemitter mit emissionsverbessernder Schicht aus Kohlenstoffnanoröhren“ (CNT-IR) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) gefördert.
FKZ: 49MF230047
