Mit dem Forschungsprojekt LaWaDos optimiert ein Entwicklungsteam des CiS Forschungsinstituts die Kontaktierung piezoresistiver Sensoren über Drahtbondkontakte. Ziel ist es, zuverlässige und langzeitstabile Kontakte zu erzeugen, die Prozesstemperaturen oberhalb von 500 °C aushalten. Stabile Kontakte an der Schnittstelle zwischen Metall und Halbleiter sind entscheidend für Leistung und Zuverlässigkeit von Halbleiterbauelementen. Anstelle der etablierten Metallisierung wird ein hochtemperaturstabiles Kontaktsystem entwickelt, vorzugsweise mit einer Sperrschicht aus Wolfram oder Tantal. Bei komplex geformten Sensorbauelementen bildet die reproduzierbare Herstellung der Kontakte eine große Herausforderung. Die Untersuchung und Optimierung dieser Prozesse sind Voraussetzung für eine nachfolgende standardisierte Serienfertigung.
Die Ergebnisse dieses Forschungsprojektes unterstützen das Bestreben von Konstrukteuren und Anlagenbetreibern, Sensorik möglichst nah an den Untersuchungsbereich zu platzieren, um schneller und sicherer thermische Prozesse überwachen und steuern zu können.
Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wurden im Forschungsprojekt „Hochtemperaturoptimierte Kontaktmetallisierungen“ (LaWados) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) gefördert.
FKZ: 49MF230021
