In der 2. Auflage des CiS Workshops „Entwicklungstrends bei piezoresistiven Silizium-Drucksensoren“ am 13. Oktober 2022 wurden Trends aus Wirtschaft und Wissenschaft für siliziumbasierte MEMS-Sensoren thematisiert. Uwe Schwarz, Fellow und Leiter MEMS-Sensors, X-FAB MEMS Foundry GmbH, erläuterte in seiner Keynote die Bausteine eines modularen Herstellungsprozesses für Silizium basierende Drucksensoren.
In den folgenden drei Sessions wurde der Bogen von neuen Materialien wie SiCER (Silizium-Keramik-Verbundtechnologie), Simulation und Layout-Entwicklung, Aufbau- und Verbindungstechnik, messtechnischer Charakterisierung bis zur Anwendung gespannt. Intensiv diskutierten die Präsensanwesenden gemeinsam mit den Online-Teilnehmenden die einzelnen Beiträge. Ein rundum gelungener Workshop, zum Austausch unter Experten, Kontakte knüpfen und finden neuer Ansatzpunkte für kommende Workshops.
Verpassen Sie nicht den nächsten CiS Workshop am 9. November zu NDIR Sensoren und Komponenten.
