Wir entwickeln entlang der gesamten Wertschöpfungskette
Mehr als 100 qualifizierte wissenschaftliche Mitarbeitende betreiben am CiS Forschungsinstitut anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung im Auftrag der Industrie sowie im Rahmen öffentlicher Förderprojekte bis zur Kleinserienfertigung. Für unsere Auftraggeber entwickeln wir hochpräzise und langzeitstabile Komponenten für Sensorsysteme auf Siliziumbasis entlang der gesamten Wertschöpfungskette. Einzelne Kompetenzen und Technologien werden in unseren Fachbereichen (MEMS, MOEMS, Simulation & Design, Prozessentwicklung, Waferprozessierung, Aufbau- & Verbindungstechnik, Messtechnik & Analytik) gebündelt.
1. Simulation & Design
Für den Entwurf kundenspezifischer Sensoren, die Entwicklung von Entwurfsregeln sowie Layouts zur Maskenherstellung stehen hochspezifische Entwurfsarbeitsplätze bereit. Mit Software-Tools werden die sensorischen Eigenschaften und technologische Teilschritte simuliert.
2. Prozessentwicklung
Basierend auf hochtechnologischen Kompetenzen innerhalb der Wafer- und Bauteilfertigung werden neue Prozesse und Technologiemodule entwickelt, die später in den Technologieablauf von Forschungsprojekten und Produktentwicklungen integriert werden können.
3. Waferprozessierung
Wir verfügen über typische Verfahren zur monolithischen Integration sensorischer und elektronischer Funktionen in Siliziumwafern und Chips, Verfahren der Mikrostrukturierung sowie Technologieplattformen für die doppelseitige sowie dreidimensionale Strukturierung.
4. Aufbau- & Verbindungstechnik
Alle technologischen Teilschritte der Mikromontage und Hausung von mikroelektronischen und photonischen Komponenten sowie mikrosystemtechnischen Sensormodulen für Prototypen sowie kleine und mittlere Serien stehen bereit.
5. Messtechnik & Analytik
Unser CAK (CiS Analytik Kompetenzzentrum) steht für die einmalige Kombination aus neuester Technologie und hochqualifiziertem Personal für komplexe messtechnische Untersuchungen sowie spezielle Material- und Oberflächenanalysen.
6. Prototyping & Kleinserien
Aufbauend auf Grundlagenforschung sowie eigener Entwicklungen über angewandte F&E-Leistungen bis hin zur Pilotproduktion und Kleinserienfertigung von MST-Komponenten und Mikrosystemen realisieren wir auch den Technologietransfer.
