Analytik und Messtechnik zur Fertigung von Sensoren in der Mikro- und Nanotechnologie
Analysen und Messungen in allen Phasen der Entwicklung und Produktion von MEMS und MOEMS-Sensoren werden immer wichtiger. Die Ergebnisse liefern entscheidende Hinweise im F&E-Prozess und verkürzen die Entwicklungszeit. Eine exzellente Kontrolle und Charakterisierung von Schichten, Strukturen auf Oberflächen, Festkörpern und Stoffgemischen verifizieren Technologien, um high-Performance Sensoren zu entwickeln und zu verbessern. Unsere langjährige Erfahrung, kombiniert mit präzisen optischen und elektrischen Messverfahren, chemischen und physikalischen Prüfungen, erlauben eine umfassende Fehleranalyse. Die gesamte Wertschöpfungskette – ausgehend vom Design der Sensoren über die Technologieentwicklung und Prozesskontrolle bis zum fertigen Sensor bzw. Sensorsystem wird in unserem Haus systematisch betreut.
Unsere Kernkompetenzen sind dabei:
- Messtechnik auf Waferlevel (optische, kapazitive, elektrische und mechanische Messverfahren sowie Ultraschalluntersuchungen)
- Analytik (Präparationstechnik, Defekt- und Mikrostrukturen, Schicht- und Oberflächenanalysen, chemische Zusammensetzung)
- Zuverlässigkeit von Sensoren (Standardbelastungstests und Testentwicklung)
