Das laufende Projekt „JoinZiSi – Optimierte reaktive Bondtechnologie auf der Basis neuartiger Zirkonium-Systeme für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik“ beschäftigt sich mit der Entwicklung eines effizienten Fügeverfahrens und steht repräsentativ für die Forschungsarbeiten im Fachbereich Prozessentwicklung am CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik
Resonante Drucksensoren besitzen vielseitiges Potenzial für Anwendungen in der Wasserstoffwirtschaft. Das neu gestartete Forschungsvorhaben ReSi-DDS des CiS Forschungsinstitutes zielt auf die Entwicklung von Stapeltechnologien zur Herstellung von Resonatorstrukturen für resonante Silizium-Drucksensoren
Start für das Vorlaufforschungsprojekt „High-End Beschleunigungssensoren“(HEB) – Das Vorhaben zielt auf die Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Fertigungsprozesses für hochauflösende kapazitive MEMS Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ zur kosteneffizienten Anwendung als Neigungssensor
Im Rahmen des Projektes M-Gravi entwickelt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche. Die Sensoren bestehen aus vier einzelnen Siliziumwafern und nutzen eine Stapeltechnologie auf Wafer-Level
Photoakustische Sensoren messen hochempfindlich Kohlendioxid und Stickoxide. Zunehmend werden andere Gase wie Methan, Ammoniak, Ethylen oder auch Gaslecks bei Pipelines detektiert. Das CiS Forschungsinstitut startet im Projekt PAS die Entwicklung eines integriert herstellbaren photoakustischen Gassensors auf Basis von NDIR-Sensoren
Der 1. Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS findet am 7. April 2021 als kostenfreie online-Veranstaltung statt. Vom Gastgeber TU Ilmenau organisiert sind von 9:00 bis 16:30 Uhr Gäste und Interessenten herzlich willkommen. Das CiS Forschungsinstitut beteiligt sich in zwei Projekten an der Entwicklung einer innovativen Multisensorplattform für die Erfassung Sensorinformationen in anspruchsvollen Umgebungen
Zum ersten Mal war das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH als Aussteller auf der SPIE Photonics West 2018 in San Francisco vertreten. Als einer von 70 deutschen Ausstellern auf dem im Deutschen Pavillon in der Nordhalle des Moscone Zentrum demonstrierte das CiS Forschungsinstitut seine Kompetenzen im Design sowie in der Herstellung und Montage von kundenspezifischen optischen Mikrosensoren
Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik hat großflächige Strahlungsdetektoren entwickelt, deren sensitiver Bereich bis auf die Dicke eines normalen Papierblattes abgedünnt ist. Bei der Prozessierung konnte auf die Verwendung von zusätzlichen Handling-Wafern, wie heute noch in der industriellen Fertigung gängige Praxis, verzichtet werden
Im CiS Forschungsinstitut wurden technologische Prozesse für Siliziumwafer entwickelt, mit denen eine reproduzierbare Empfindlichkeit dU/dT, also die Steigung der Spannung über der Temperatur erreicht werden konnte
Das CiS Forschungsinstitut hat eine kostengünstige Technologie zur Herstellung von hochstabilen Laserbeleuchtungen im Batchprozess entwickelt. Dabei werden bis zu 20.000 Stück dieser Baugruppen auf einem Glaswafer montiert. Die VCSEL-basierten Lasermodule zeichnen sich durch eine hohe Strahlqualität aus
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