Neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche [Video]
Im Rahmen des Projektes M-Gravi entwickelt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche. Die Sensoren bestehen aus vier einzelnen Siliziumwafern und nutzen eine Stapeltechnologie auf Wafer-Level