Siliziumsensoren im Spotlight der Mikro- und Nanotechnologie
In der Auftaktveranstaltung am 06.09.2022 zur neuen Digital-Reihe „Spotlights der Mikro- und Nanotechnologie“, initiiert vom IVAM Fachverband für Mikrotechnik, präsentiert unter anderem Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS am CiS Forschungsinstitut, das Thema „Siliziumsensoren für optische Prozessüberwachung“