Aktuelle Forschungsergebnisse auf dem MikroSystemTechnik Kongress
Aktuelle Forschungsergebnisse präsentieren wir vom 8. bis 10. November 2021 in mehreren Beiträgen im Rahmen des MikroSystemTechnik Kongresses. Thematisiert werden mechanische und optische siliziumbasierte Komponenten, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie praktische Anwendungen in Wirtschaft und Quantentechnologien