Kongressbeitrag über Passivierungsmöglichkeiten für MEMS-Sensoren auf der ACHEMA in Frankfurt
In ihrem Kongressbeitrag auf der ACHEMA stellt Dr. Heike Wünscher aus dem Fachbereich MEMS am Cis Forschungsinstitut, Forschungsergebnisse für die Passivierung von siliziumbasierten MEMS-Sensoren und deren Einsatz als Strömungssensor in rauen Umgebungen vor