Neue Methoden bei der Entwicklung und Anwendung von Siliziumsensoren – um diese Thematik ging es in dem MEMS-Workshop am 06.11.2024. Die Veranstaltung legte den Fokus auf Entwicklungen in den Bereichen Sensorelemente, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Charakterisierung von Sensoren, insbesondere Drucksensoren und Dehnmessstreifen in ausgewählten Anwendungsgebieten
Vom 12. bis 15. November 2024 zeigen wir eine Auswahl unserer Forschungs- und Entwicklungsergebnisse. Die europäische Halbleiterindustrie trifft sich in den Hallen der Messe München. Interessierte Besucher finden unseren Stand auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand der LEG C1718 in Halle C1. Wir freuen uns auf Ihren Besuch und anregenden Gedankenaustausch
Zum ersten Mal präsentieren wir unsere Entwicklungen auf der internationalen Erfindermesse iENA in Nürnberg. Mit über 500 Erfindungen aus 31 Ländern ist die iENA eine der bedeutendsten Plattformen für Innovationen. Wir sind gespannt, wie unsere Technologien von den Besuchern und der Jury aufgenommen werden
Am 16. und 17. Oktober 2024 widmen sich Fachleute verschiedener Wissensgebiete auf der Technologiekonferenz elmug4future der Verwendung von Wasserstoff und damit verbundenen Herausforderungen für dessen sichere Nutzung. Dr. Heike Wünscher und Dr. Ingo Tobehn-Steinhäuser aus dem CiS Forschungsinstitut präsentieren in ihren Vorträgen aktuelle Sensorentwicklungen und Forschungsprojekte für Wasserstoff-Messtechnik
In der Sparkassen-Arena Jena treffen sich am 25. und 26. September 2024 die Fachleute der Zukunftstechnologien in Mitteldeutschland. Auch das CiS Forschungsinstitut zeigt an seinem Stand F4b in Halle 2 aktuelle Forschungsergebnisse aus dem Bereich Optik und Photonik. Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS, steht für Fragen rund um unsere Messehighlights zur Verfügung
Ziel des neuen Forschungsprojektes Flunder ist es zu untersuchen, wie durch geeignete Maßnahmen, eine minimale Temperaturabhängigkeit des Messsignals bei hybrid aufgebauten monokristallinen Silizium-Dehnungsmesssensoren (SiDMS) erreicht werden kann
Das gestartete Forschungsprojekt UDM zielt auf die Entwicklung und Prototypen-Fertigung von piezoresistiven Absolut-Drucksensoren mit ultrakleinen Abmessungen, aber dennoch sehr hohen Empfindlichkeiten auf der Basis von einkristallinen MSTS-Membranen
Im gestarteten Forschungsvorhaben BerNieDru soll ein piezoresistiver Drucksensor für den Druckbereich bis 2 mbar entwickelt werden, der durch eine Anpassung der Membrangeometrie bis zu einem Berstdruck von mindestens einem 1 bar belastbar ist
Ziel des neuen Projektes „DMS in Keramik“ ist es, einen Prozess für einen Differenzdrucksensor mit einer medienbeständiger Biegeplatte aus Keramik und integriertem Si-DMS zu entwickeln. Durch eine vollständige Integration des Si-DMS während der Laminierung der Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) ist dieser hermetisch dicht eingeschlossen und geschützt vor mechanischer Manipulation
Im neu gestarteten Projekt M2NL analysiert ein Entwicklungsteam am CiS Forschungsinstitut Messdaten unterschiedlicher piezoresistiver Drucksensoren und möchte aus den Analyseergebnissen auf mechanische Parameter und deren Temperaturabhängigkeit zurückrechnen. Dabei sollen nichtlineare Effekte und deren Einfluss in der Simulation mit dem FEM-Tool ANSYS Multiphysics untersucht werden
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