MOEMS

Der Bereich MOEMS entwickelt und untersucht optische Komponenten, Sensoren und Systeme.  Der Fokus liegt hierbei auf Messgrößen wie Reflektivität, Transmission, Absorption, Streuwinkel, Trübung, Einfallswinkel und Polarisation des Lichts sowie Strahlprofil und Lichtspektrum.

Aber auch mechanische, physiologische und chemische Größen werden gemessen, wenn diese auf optische Größen rückführbar sind, wie Konzentration, Fließgeschwindigkeit, Länge, Rauheit, Drehwinkel, Neigung, Magnetfeldstärke sowie Vitalparameter wie Blutdruck, Sauerstoffsättigung, Herzrate und  Herzratenvariabilität.

Die im Haus hergestellten Bauelemente bestehen aus Silizium und Schichten aus Metallen, Oxiden oder Nitriden. MOEMS-Bauelemente werden mit Halbleiterprozessen gefertigt und werden im Spektralbereich von 180 nm bis 15 µm angewendet. Unsere grundlegenden Bauelemente sind:

• Fotodioden und Fotodioden-Arrays
• Silizium-Fotomultiplier
• Infrarot-Strahler und -Detektoren
• Faserkoppler

In enger Zusammenarbeit mit den Bereichen Simulation & Design, Prozessentwicklung, Waferprozessierung, Aufbau- & Verbindungstechnik sowie Messtechnik & Analytik bieten wir eine geschlossene Wertschöpfungskette von der Analyse der Messaufgabe bis zum Prototyp und Kleinserie. Dabei setzen wir strahlen- und wellenoptische Modellierungsmethoden ein, entwickeln sensornahe elektronische Schaltungen und stellen automatisierte optische Prüfplätze her.