Projekt: Einsatz von TiN-Schichten zur Verbesserung der Empfindlichkeit von Thermopiles zur Antragstellung im FuE-Förderprogramm (InnoPrepare, MOEMS)
Vorhabens- Nr.: 2023 IIP 0014
In vielen Anwendungsfeldern wie Umwelt- und Prozessmesstechnik, Gefahrenerkennung, Gebäudeautomatisation oder Medizintechnik werden Gaskonzentrationen bestimmt. Für deren Detektion können verschiedene Messverfahren einsetzt werden. Ein rein optisches und berührungslos arbeitendes Verfahren ist die nichtdispersive Infrarot(NDIR)-Spektroskopie. Hier wird das zu untersuchende Gas in eine Messküvette geleitet und mit Licht im infraroten Spektralbereich durchstrahlt. Bei spezifischen Wellenlängen zeigen die zu untersuchenden Gase eine konzentrationsabhängige Absorption, die mittels IR-Detektor erfasst wird. Für das NDIR-Gassystem sind die IR-Emitter, die das IR-Licht erzeugen und IR-Detektoren die entscheidenden Komponenten. IR-Detektoren sind meist MEMS-Thermopiles, welche die durch einfallendes IR-Licht erzeugten Temperaturunterschiede innerhalb des Bauteils in eine elektrisch messbare Thermospannung übertragen. Thermopiles besitzen spezielle Schichten oder Schichtstrukturen, welche sich auf die Lichtabsorption auswirken und so die Leistungsfähigkeit beeinflussen. Das CiS Forschungsinstitut möchte die Auswirkung einer zusätzlichen TiN-Schicht auf der Absorberfläche von Thermopiles untersuchen. Dieser technologische Ansatz soll bis zur Serienfertigung umgesetzt werden. Dazu muss ein stabiler und reproduzierbarer Prozess nachgewiesen und eine geeignete Prozessmesstechnik entwickelt werden.
Zur Vorbereitung eines ZIM_Kooperationsprojektes wurden folgende Aufgaben als Dienstleistung gemäß ThürVgG an die 5microns GmbH vergeben:
- Erarbeitung einer definierten Aufgabenstellung
- Gewinnung von Kooperationspartner
- Recherche und Marktanalyse
Der Umfang der Leistung beträgt 48.600,00 € im Leistungszeitraum vom 01.11.2023 bis 30.06.2024.
Der Zuschuss ist zweckgebunden für vorbereitende Tätigkeiten für das FuE-Verbundvorhaben mit dem Thema “ Einsatz von TiN-Schichten zur Verbesserung der Empfindlichkeit von Thermopiles zur Antragstellung im FuE-Förderprogramm “ Zentrales Innovationsprogramm Mittelstand (ZIM)“.
Das Vorhaben gehört zum Spezialisierungsfeld „Industrielle Produktion und Systeme“ der Regionalen Innovationsstrategie für intelligente Spezialisierung und wirtschaftlichen Wandel in Thüringen (RIS Thüringen).
Das vom Freistaat Thüringen geförderte Vorhaben wurde durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) unterstützt.
