Projekt: Optimized development environment for resource-efficient microsensor prototyping (OPENSENS)
Project No.: 2022 WIN 0044
Due to the increasing scarcity of resources, the Thuringian economy is facing new challenges. With this investment in fully automated parameter acquisition of single sensor elements at wafer level and the associated evaluation, interpretation and process adaptation, the CIS Research Institute will establish important cornerstones of process control in the field of prototype production. This powerful, fast parameter optimisation will support resource-saving development processes in the future and realise the implementation in a short time with pinpoint accuracy. The project is supported by funding from the state of Thuringia and co-financing from funds of the European Union for Regional Development (ERDF).
The grant of €610,000 is earmarked for investments in a research-related infrastructure. The project belongs to the specialisation field “Industrial Production and Systems” of RIS3 Thuringia and concerns the key objectives “LIPS 1.2: Thuringia is a leading region in Europe in 2020 for the development and application of flexible and efficient processes, systems and technologies for customisable products” and LIS 1.3: Thuringia is a globally established region in 2020 in the field of sensor and measurement technology for industrial production”.
The project “Future-proof development environment of coating technologies for large-area substrates (ZEBS)” is funded by the Free State of Thuringia under the number 2022 WIN 0044 with state funds and co-financing from European Union for Regional Development (ERDF) funds.
Mittelherkunft: aus Mitteln des europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE-OP 2014 bis 2020) und aus Landesmitteln.
Im Rahmen des Projektes „OPENSENS“ haben wir die folgenden Aufträge vergeben:
HPE Storage-System – Ibykus AG –
Name und Anschrift des Auftraggebers und dessen Beschaffungsstelle:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Name des beauftragten Unternehmens:
Ibykus AG
Hermann-Hollerith-Straße 1
99099 Erfurt
Verfahrensart:
freihändige Vergabe
Art und Umfang der Leistung:
HPE Storage-System
Zeitraum der Leistungserbringung:
09.08.2023
Chemiefeste Pumpen – Dekont Vakuum Service GmbH –
Name und Anschrift des Auftraggebers und dessen Beschaffungsstelle:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Name des beauftragten Unternehmens:
Dekont Vakuum SERVICE GmbH
Konrad-Zuse-Straße 10
99099 Erfurt
Verfahrensart:
freihändige Vergabe
Art und Umfang der Leistung:
Edwards Scrollpumpe XDS35ic (chemiefeste Pumpe)
Zeitraum der Leistungserbringung:
08.08.2023
Microscope-based Thin Film Measurement – Filmetrics Inc.
Name und Anschrift des Auftraggebers und dessen Beschaffungsstelle:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Name des beauftragten Unternehmens:
Filmetrics, Inc.
10655 Roselle Street
San Diego, CA 92121
Verfahrensart:
freihändige Vergabe
Art und Umfang der Leistung:
F40-Microscope-based Thin-Film Measurement System
Zeitraum der Leistungserbringung:
04.07.2023
HF-Dampf-Ätzer – Idonus sárl
Name und Anschrift des Auftraggebers und dessen Beschaffungsstelle:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Name des beauftragten Unternehmens:
idonus sárl
Rouges-Terres 61
2068 Hauterive
Schweiz
Verfahrensart:
freihändige Vergabe
Art und Umfang der Leistung:
HF-Dampf-Ätzer
Zeitraum der Leistungserbringung:
15.09.2023
