Optoflutronics – Mikrofluidischer Fluoreszenz- und Absorptionssensor
Das CiS Forschungsinstitut führt die Entwicklung eines Mikro-Fluoreszenz-Sensors an. In einem Mehrkanal-Sensor finden die optische Anregung mit verschiedenen Lichtwellenlängen sowie die Messung von Transmissions- und Fluoreszenzsignalen statt
Mit Innovationen aus Thüringen – Strahlungsharte Siliziumdetektoren auf der Suche nach dem Higgs Boson
Thüringen ist wesentlich an der Entdeckung des Higgs-Elementarteilchens beteiligt. Wissenschaftler und Ingenieure der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH arbeiten in Erfurt an strahlungsharten Siliziumdetektoren für die internationale Kernforschungselite am CERN (Genf). Das CiS Forschungsinstitut ist stolz mit seinen Leistungen entscheidend zum Erfolg beigetragen zu haben und gratuliert den Kollegen in der Schweiz
Kraftsensor für haptische Assistenzsysteme in der Medizin
Ein miniaturisierter Kraftsensor misst die Kräfte an Katheterspitzen, die beim Einführen zwischen Führungsdraht (Katheter) und Blutgefäßen auftreten. Der Mini-Chip KASYS, nur 200 x 220 x 640 µm groß und damit gerade mal doppelt so breit wie ein Haar, ist das Herzstück eines haptischen Assistenzsystems, das zukünftig die Katheterisierungen in der Medizin vereinfacht und die Verletzungsgefahr verringert
Berührungslose, interferometrische Abstandsmessung
Technologien aus der Mikrosystemtechnik und der Mikrooptik bilden die Grundlagen für die erfolgreiche Miniaturisierung eines neuen, interferometrischen Abstandsmesssystems der TETRA GmbH aus Ilmenau. Das Kernstück, bestehend aus einem Michelsen-Laserinterferometer und einem optischen Siliziumdetektor, entwickelte der Mechatronikspezialist gemeinsam mit dem Applikationszentrum Mikrooptische Systeme am CiS Forschungsinstitut
Interferometrischer Drucksensor
Mittels MEMS-Wafertechnologien und einem Silizium-Photodiodenarray mit eingebetteter Laserlichtquelle (naked VCSEL) ist es dem CiS Forschungsinstitut gelungen, die komplette optische Abtastung der druckempfindlichen, Membran (Silizum) in einem sehr flachen Bauraum – vergleichbar mit kapazitiven oder piezoresistiven Sensoren – zu integrieren
3D-Silizium-Fotodiode mit PigTail
Die 3D-Strukturierung von Silizium gewinnt für optische und opto-elektronische Anwendungen der Mikrosystemtechnik immer mehr an Bedeutung. Für die zuverlässige und verlustarme Ankopplung von Lichtleitfasern an Fotodioden entwickelte das CiS Forschungsinstitut neue Mikrostrukturierungstechnologien zur Herstellung von Kavitäten mit Flankenwinkeln von 45° und 90° und hoher optischer Absorption der sensitiven Einkoppelfläche
Power aus Licht – Feldbuskompatible Sensoren für extreme Einsatzbedingungen
Für den Einsatz von Sensorsystemen unter Extrembedingungen, wie in EMV-kritischen oder Ex-geschützten Bereichen verbietet sich häufig eine galvanische Verbindung der Sensoren für die Energiezuführung bzw. Signalübertragung. Gemeinsam mit Industriepartnern entwickelte dafür das applikationszentrum mikrooptische systeme des CiS Forschungsinstituts eine zu vorhandenen Feldbussystemen kompatible Lösung
ToMess Multisensormodul
Mikrostrukturierte Reaktoren halten seit mehreren Jahren erfolgreich Einzug in die Labore und Produktionsanlagen der Groß- und Feinchemie sowie der Medizin. Weltweite Forschungsaktivitäten zeigen eindrucksvoll, dass sich durch den Einsatz der mikroverfahrenstechnischen Komponenten eine Vielzahl von reaktionstechnischen Vorteilen in chemischen Prozessen erzielen lassen
Niedertemperatur-Silizium-Direkt-Bonden
Das Niedertemperatur-Silizium-Direkt-Bonden hat in den letzten Jahren deutlich an Bedeutung gewonnen. Es eröffnet neben den Möglichkeiten der vertikalen Integration neue prozesstechnische Möglichkeiten durch die Anwendung des Waferlevel Packaging als Postprozess in der Sensorfertigung
Impedanzsensorik am CiS Forschungsinstitut
Das CiS besitzt eine langjährige Kompetenz auf dem Gebiet der Impedanzsensorik. Neben dem klassischen Gebiet der Feuchtemessung werden neue Anwendungsfelder erschlossen
