Im neuen Forschungsprojekt BerNieDru sollen Drucksensoren entwickelt werden, die in einem Druckbereich von 1-2 mbar empfindlich sind. Diese Ultra-Niederdrucksensoren werden beispielsweise angewendet in der Medizintechnik, der Heizungs-, Lüftungs- und Klimatechnik, Wärmepumpen und im Bereich des Umwelt-Monitoring. Durch den Messbereich werden hohe Anforderungen an die Empfindlichkeit und Haltbarkeit der Sensoren gestellt. Am Markt befindliche Sensoren weisen in der Regel sehr niedrige Berstdrücke auf, wodurch es zu Problemen in den Einsatzbereichen und in der Herstellung der Sensoren kommen kann.
Das Projektteam des CiS Forschungsinstitutes, welches aus Spezialisten für Siliziumbasierte MEMS-Sensoren besteht, hat sich auf das auf das piezoresistive Messprinzip für diese Sensoren festgelegt. Basis bildet hier eine Membran, die sich bei Druckeinwirkung verbiegt. Durch eine Anpassung der Membrangeometrie soll ein verbesserter Berstdruck erhalten werden und zugleich auch eine hohe Sensitivität der Sensoren garantiert werden. Um dieses Ziel zu erreichen, sind umfangreiche Simulationen notwendig sowie eine geeignete Herstellungstechnologie zu entwickeln.
Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wurden im Forschungsprojekt „Berstfester Niederdrucksensor“ (BerNieDru) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) gefördert.
FKZ: 49MF 230066
