Der Silicon Science Award wird alle zwei Jahre durch den CiS e.V. und dem CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik vergeben. Prämiert werden herausragende Bachelor- und Masterarbeiten sowie Dissertationen, die an Fach- und Hochschulen, Universitäten und außeruniversitären Einrichtungen entstanden sind. Für die Bewertung ist der Bezug zu siliziumbasierter Mikrosystemtechnik, Optoelektronik und Quantentechnologien entlang der Wertschöpfungsketten sowie die Kriterien Innovationsgrad und Originalität, wissenschaftliche Bedeutung, wirtschaftliche Verwertbarkeit und Gesamtkonzeption entscheidend.
Der CiS e.V. will als Ausrichter dieses Wettbewerbs junge Nachwuchswissenschaftler und Nachwuchswissenschaftlerinnen ermutigen, sich mit diesen Themen und Forschungsaufgaben auseinanderzusetzen, die für viele wissenschaftliche und wirtschaftliche Innovationen grundlegend sind, um gesellschaftliche Herausforderungen wie Klimaschutz oder Ressourceneffizienz zu lösen.