Thüringens Wirtschaftsminister Tiefensee überreichte am 29.11.2022 bei seinem Besuch im CiS Forschungsinstitut einen Fördermittelbescheid an die beiden Geschäftsführer Herrn Brock und Prof. Ortlepp. Die Gelder stammen aus EU-REACT-Mitteln. Wirtschaftsnahe Forschungseinrichtungen aus Thüringen konnten sich in einen Wettbewerbsaufruf qualifizieren. Im Mittelpunkt standen hierbei Technologien und Verfahren für eine nachhaltigere Verwendung von Energie und Ressourcen.
Diese Zuwendung erlaubt dem CiS Forschungsinstitut in eine moderne Hochtemperatur-Anlage der neuesten Generation zu investieren. Diese bietet verschiedene Möglichkeiten zum flexiblen Einsatz in der Schichterzeugung auf großflächigen Substraten bei gleichzeitiger Verringerung des Energieeinsatzes. Zudem verfügt sie über eine Schnittstelle zur computergestützten Prozessparametererfassung und -beeinflussung. Verbunden mit der Möglichkeit der Fernüberwachung wird die weitere Digitalisierung der Prozesskontrolle innerhalb des CiS Forschungsinstitutes vorangetrieben.
Das CiS Forschungsinstitut engagiert sich gemeinsam mit Partner aus der Industrie und Forschung auf dem Gebiet der MEMS- und MOEMS-Sensoren für Anwendungen in Umwelttechnologien, Klimaschutz, Medizintechnik, Prozessüberwachung sowie Quantentechnologien. Als Beispiel dient die Nutzung von grünem Wasserstoff als wertvoller Energieträger für die energieintensive Prozesse in der Industrie. Benötigt werden hierfür Sensoren, die für die Elektrolyse von Wasser, der Speicherung und Leckagedetektion von grünem Wasserstoff in den verschiedenen Anlagen eingesetzt werden können. Die Herstellung dieser Sensoren erfordert größtenteils energieintensive Prozesse innerhalb der Wertschöpfungskette von dem Ausgangsmaterial Silizium bis zum fertigen Sensor. Mit dieser neuen Anlage wird die energetische Bilanz und Effizienz in der Herstellung von Sensoren verbessert.
