Zur Charakterisierung der elektrischen, optischen und thermischen Eigenschaft von Mikro- und Nanoelektronischen Sensoren stehen halb- und vollautomatische Waferprober zur Verfügung. Ebenso besteht die Möglichkeit die Messung an aufgebauten Modulen durchzuführen.
Unsere Leistungen:
Zu unseren angebotenen Leistungen für die Mikro- und Nanosensorik:
- elektrische Charakterisierung von Halbleitern/Technologieparameter auf Basis von Strom-/Spannungs und Kapazitätsmessungen. IUC Messtechnik bis 1000V für 4,6,8 Zoll -60° +300°C
- CV im Bereich von 20 Hz- 1MHz
- Doppelseitenwaferprober,
- Druckbeaufschlagung während der Wafermessung bis ca. 4 bar
- Spektrale Empfindlichkeit auf Waferlevel (ortsaufgelöst ähnlich OBIC) 400-1000 nm
- Spektrale Empfindlichkeit an Bauelementen (Wellenlängenbereich 300-1150 nm)
- Risetime
