Miniaturisierte, infrarotsensitive Detektoren werden für kontaktfreie Temperaturmessungen sowie bildgebende und spektroskopische Anwendungen im Spektralbereich von 1 bis 15 µm benötigt. Um dabei die erreichbare Auflösungsgrenze zu verbessern, wurde aktuell das Förderprojekt „MyTZe – Micro-Thermopile-Zeile“ gestartet. Ziel des Vorhabens sind miniaturisierte Thermopiles sowie Array-Anordnungen solcher Infrarot-Detektoren.
Hierfür werden nur wenige Mikrometer dünne Membranen mit reihenverschalteten Thermoschenkeln aus Poly-Silizium erzeugt, die innerhalb eines Silizium-Trägers aufgespannt werden. Innerhalb des Projektes werden verschiedene Designvarianten sowie verschiedene Technologien zur Membranerzeugung erprobt und weiterentwickelt. Hinzu kommen funktionale Strukturierungen – sogenannte photonische Kristalle – die eine für jeden Pixel angepasste, spektral selektive Empfindlichkeit bewirken werden.
Gelingt die Umsetzung, stehen am Ende des Projektes innovative Baugruppen für deutlich kompaktere und leistungsfähigere Sensoren und Messgeräte für den IR-Bereich zur Verfügung.
Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten im Projekt „Micro-Thermopile-Zeile“ (MyTZe) werden gefördert durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie.
FKZ: 49MF210063
