Steuerung & Überwachung
Die zuverlässige Messung des Druckes ist ein erfolgsbestimmender Messwert bei der Steuerung und Überwachung industrieller Großanlagen im Chemie- und Pharmabereich, der Energietechnik wie Öl- und Gasindustrie, Ernährung und Landwirtschaft und Medizintechnik. Das Themenfeld lässt sich dem Megatrend „Zivile Sicherheit für der Gesellschaft“ zuordnen.
Piezoresistive Silizium-Sensoren weisen hier viele Vorteile auf. Sie sind temperatur- und langzeitstabil, hoch miniaturisierbar und können mit der Elektronik direkt in einen Silizium-Sensorsystem gekoppelt werden. Je nach Anforderung können Querempfindlichkeiten reduziert sowie die Einsatztemperaturen angepasst werden. Als Multisensorsystem werden zeitgleich weitere Messgrößen wie die Temperatur erfasst.
Das CiS Forschungsinstitut entwickelt und fertigt seit 30 Jahren siliziumbasierte piezoresistive Drucksensorchips für industrielle Partner.
